作為半導體行業(yè)的關(guān)鍵元件，晶圓在半導體加工工序中需要在各個處理站之間快速、精確的傳送。
 
現(xiàn)代的科技技術(shù)已經(jīng)可以生產(chǎn)出納米級厚度的晶圓，如此昂貴、精密、易碎的晶圓在傳送過程中，如果依靠人工操作，很容易被損壞，且過程中會使晶圓表面受到污染。所以，真空機器人——真空晶圓搬送機械臂成為晶圓制造的核心設備之一。其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。

納博特斯克為了滿足真空晶圓搬送設備的潔凈度和穩(wěn)定性需求，推出了唇形真空密封件與精密減速機RV?緊湊融合而成的齒輪頭單元——HR系列。該系列產(chǎn)品因采用不會破裂的接觸式唇形密封件，結(jié)構(gòu)緊湊，且安裝、使用方便，可有效縮短FPD搬運用機器人、晶圓搬運裝置的組裝時間，且有相當高的安全性。

內(nèi)部搭載的納博特斯克精密減速機RV?產(chǎn)品在精密減速機領(lǐng)域中已有30年以上的實績，被廣泛應用在世界范圍內(nèi)的制造業(yè)設備中。作為工業(yè)機器人關(guān)節(jié)部位的核心零部件，有著高精度、高剛性同時兼?zhèn)湫⌒汀⑤p量的特點，在實現(xiàn)精密動作的同時，為設備提供強大的承載能力。根據(jù)不同的安裝需求可替換組件品單元RV?系列/附帶對應多個公司伺服電機安裝零件的RD2系列作為內(nèi)部減速機的型號。

【產(chǎn)品規(guī)格】

【應用場景】

如對產(chǎn)品感興趣，歡迎致電021-33632200咨詢。