用于先進(jìn)半導(dǎo)體制造的荷蘭光刻系統(tǒng)制造商ASML完成了其首個合格的半導(dǎo)體行業(yè)增材制造供應(yīng)鏈。這項工作的重點是審核供應(yīng)商是否符合ISO/ASTM 52920和ASML自己的指導(dǎo)文件GSA-02-0001。供應(yīng)商通常在4-10個月的時間內(nèi)完成包括審核、報告和證書在內(nèi)的資格認(rèn)證過程。其目標(biāo)是減少影響質(zhì)量的工藝變量，提高可重復(fù)性，并為3級關(guān)鍵元件建立一個注重可靠性的生產(chǎn)流程。

在幾個月內(nèi)，ASML為增材制造供應(yīng)商制定并實施了全面的審核和資格認(rèn)證計劃。這份名為ASML AM GSA的基礎(chǔ)文件整合了 ISO/ASTM 標(biāo)準(zhǔn)，以確保增材制造組件生產(chǎn)的可重復(fù)性。Qualified AM GmbH團(tuán)隊對ASML的供應(yīng)商網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行了深入審核，重點關(guān)注增材制造生產(chǎn)流程。審核涵蓋 AM 工藝類別粉末床熔融激光束熔化 (PBF/LB-M)，適用于多家機(jī)器制造商的系統(tǒng)。

審核范圍包括鈦合金 Ti6Al4V 和不銹鋼 316L，并對相關(guān)工藝參數(shù)和團(tuán)隊能力進(jìn)行了評估。該計劃旨在滿足 ISO/ASTM 52920、ASML AM GSA 以及其他相關(guān) ISO/ASTM 標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)備水平。

ASML認(rèn)識到增材制造的巨大潛力，但也發(fā)現(xiàn)供應(yīng)鏈合作伙伴之間的質(zhì)量差異是一項嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。這些差異源于使用不同的增材制造系統(tǒng)、材料、參數(shù)集和人際互動。對這些變量進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化是資格認(rèn)證計劃的核心理由。QAM 團(tuán)隊進(jìn)行了針對增材制造工藝的故障模式評估，并要求供應(yīng)商利用專家意見完善風(fēng)險定義。其核心目標(biāo)是減少影響工藝輸出可重復(fù)性的工藝變量。

鑒定范圍直接影響到半導(dǎo)體系統(tǒng)中使用的高度關(guān)鍵的第3類部件的可制造性。經(jīng)審核的“風(fēng)險鑒定和驗證 ”服務(wù)能力對這些部件的成功實施具有重大影響。評估還包括可制造性評估，旨在驗證供應(yīng)商是否能在嚴(yán)格的半導(dǎo)體級要求下可靠地生產(chǎn)部件。Qualified AM GmbH與供應(yīng)商密切合作，質(zhì)疑并改進(jìn)他們?yōu)轱L(fēng)險評估所定義的失效模式。

審核結(jié)果被映射到一整套標(biāo)準(zhǔn)中，包括ISO/ASTM 52920:2023、DIN EN ISO/ASTM 52907:2019、DIN CEN ISO/ASTM/TS 52930:2021、ISO/ASTM DIS 52928、DIN EN ISO/ASTM 52901:2018 和 DIN EN ISO/ASTM 52904:2019。文件包括QualifiedAM 審核報告和證明供應(yīng)商準(zhǔn)備就緒的證書。該計劃表明，對整個增材制造供應(yīng)商網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行審核的主要目的是減少影響可重復(fù)性的工藝變量，為半導(dǎo)體制造等高風(fēng)險行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)化 AM 生產(chǎn)設(shè)定基準(zhǔn)。

近期舉措加強(qiáng)了增材制造的認(rèn)證和標(biāo)準(zhǔn)化

為實現(xiàn)先進(jìn)制造資格認(rèn)證的制度化，Sicnova于2025年初啟動了CEDAEC（西班牙首個專門認(rèn)證軍事和國防應(yīng)用部件的中心）。該中心是與西班牙國防部合作建立的，配備了金屬和聚合物三維打印系統(tǒng)、高精度檢測工具和無損檢測技術(shù)，其中包括歐洲最先進(jìn)的斷層成像儀。該中心的目標(biāo)是實現(xiàn)物流現(xiàn)代化，確保戰(zhàn)略應(yīng)用中的部件可靠性，將認(rèn)證作為一種工具來簡化生產(chǎn)，減少國防供應(yīng)鏈中的過時現(xiàn)象。

與此同時，3D打印技術(shù)開發(fā)商AddUp于2024年成為首家獲得ASTM增材制造安全認(rèn)證的原始設(shè)備制造商。這一里程碑是在安全設(shè)備研究所（SEI）進(jìn)行廣泛審核之后取得的，該審核評估了粉末處理、個人防護(hù)設(shè)備使用、機(jī)器接地和危險廢物管理等關(guān)鍵安全領(lǐng)域。AddUp與ASTM國際增材制造卓越中心合作，為制定正式的增材制造設(shè)施安全協(xié)議做出了貢獻(xiàn)，建立了一個標(biāo)準(zhǔn)化框架，該框架將繼續(xù)影響整個行業(yè)的認(rèn)證流程。