8 月 14 日消息，據(jù)杭州日?qǐng)?bào)報(bào)道，位于杭州城西科創(chuàng)大走廊的浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地傳來重大喜訊：全國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”已進(jìn)入應(yīng)用測(cè)試，其精度與國(guó)際主流設(shè)備相當(dāng)，標(biāo)志著我國(guó)量子芯片研發(fā)領(lǐng)域迎來了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的“中國(guó)刻刀”。

在測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)，浙江大學(xué)余杭量子研究院的研發(fā)團(tuán)隊(duì)正緊張地進(jìn)行著各項(xiàng)測(cè)試工作。這臺(tái)外形類似大型鋼柜的設(shè)備，其電子顯示屏上實(shí)時(shí)顯示著各項(xiàng)參數(shù)。“這不是普通的機(jī)器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人表示，“羲之”是依托省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的新一代 100kV 電子束光刻機(jī)，目前已正式投入市場(chǎng)。

“羲之”以東晉書法家王羲之的名字命名，其“毛筆”則是高能電子束，能夠在芯片上刻寫電路。該設(shè)備專攻量子芯片和新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，精度達(dá)到 0.6 納米，線寬 8 納米，且無需掩膜版即可靈活修改設(shè)計(jì)。這種靈活性使其特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試，如同用納米級(jí)毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫。

此前，由于國(guó)際出口管制，國(guó)內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)如中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、之江實(shí)驗(yàn)室等長(zhǎng)期無法采購(gòu)此類設(shè)備。而“羲之”的成功落地，有望打破這一局面。據(jù)報(bào)道，“羲之”的定價(jià)低于國(guó)際均價(jià)，目前已與多家企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)展開接洽。