榮格工業(yè)資源APP
了解工業(yè)圈,從榮格工業(yè)資源APP開始。
IDC預計,2025年中國AI芯片市場規(guī)模將達300億美元,年復合增長率超過40%,前景廣闊。SEMI也指出,AI芯片需求正推動2nm及以下先進工藝產(chǎn)能從2025至2028年保持14%的強勁復合年增長。
在此背景下,9月17日,由榮格工業(yè)傳媒主辦,半導體綜研等友誼單位支持的“2025半導體制造工藝與材料論壇”在上海大寧福朋喜來登酒店成功舉辦。
本次論壇以“AI時代,從‘芯’開始”為主題,匯聚了產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)與專家,圍繞高端芯片、先進封裝、AI良率提升等議題分享前沿成果、探索合作路徑。
Part 1
開幕致辭
邵敏女士
榮格工業(yè)傳媒會議部總監(jiān)
會議伊始,榮格工業(yè)傳媒會議部總監(jiān)邵敏女士發(fā)表致辭。她表示,當前,全球半導體產(chǎn)業(yè)正處在技術迭代與格局重塑的關鍵階段。地緣政治因素加劇了供應鏈的不確定性,材料與設備的自給率差距顯著,“卡脖子”問題仍是行業(yè)共同面臨的挑戰(zhàn)。在此背景下,“AI賦能”與“先進封裝”正成為突破瓶頸、重構生態(tài)的重要引擎,為產(chǎn)業(yè)注入全新動力。
機遇與挑戰(zhàn)并存的當下,半導體產(chǎn)業(yè)迎來三大關鍵機遇:一是AI大模型爆發(fā)增長,催生對高算力、高密度芯片的迫切需求,推動先進封裝與特種材料加速迭代;二是全球產(chǎn)業(yè)鏈布局調(diào)整,為區(qū)域協(xié)同創(chuàng)新與本土供應鏈建設創(chuàng)造空間;三是綠色制造理念深化,水資源循環(huán)與低功耗工藝等成為可持續(xù)發(fā)展必由之路。
但我們?nèi)孕枵曋T多挑戰(zhàn),如光刻機等核心設備攻關難度大、高端材料國產(chǎn)化率低、跨領域協(xié)同機制尚未完善等,亟需全行業(yè)凝聚共識、攜手突破。最后,她表示“通過今天的思維碰撞與經(jīng)驗交流,必將助力行業(yè)破解難題、把握機遇,共同推動半導體產(chǎn)業(yè)邁向更高質(zhì)量、更可持續(xù)的未來。”。
Part 2
上午場
冉小飛 先生
艾歐資本( IO 資本)聯(lián)合創(chuàng)始人、高級經(jīng)理
艾歐資本(IO資本)聯(lián)合創(chuàng)始人、高級經(jīng)理冉小飛在《中國先進封裝行業(yè)研究報告》主題報告中,聚焦中國先進封裝行業(yè),剖析其發(fā)展邏輯與前景。
主講人表示,當下,先進封裝發(fā)展呈現(xiàn)微型化與集成化兩大趨勢,從傳統(tǒng)引線框架封裝演進至晶圓級、立體結(jié)構封裝。
市場層面,AI與后摩爾時代驅(qū)動行業(yè)增長:全球先進封裝市場規(guī)模預計從2022年442.6億美元增至2028年785.5億美元,2.5D/3D技術以18.75%復合增速領跑。28nm以下高制程芯片依賴先進封裝,Chiplet架構催生多片集成需求,附加值顯著提升。
技術方面,TSV是2.5D/3D封裝關鍵,2.5D通過硅中介層互連,3D則實現(xiàn)芯片直接高密度互連;3D Chiplet以無凸點垂直結(jié)構進一步提升集成度。頭部玩家中,臺積電、英特爾等海外廠商主導2.5D/3D技術,國內(nèi)長電科技等在部分領域布局,但高端技術仍存差距。
AI大模型對算力芯片的高帶寬、低延遲需求,疊加摩爾定律放緩,使先進封裝成為提升芯片性能、降本增效的核心路徑,行業(yè)迎來高速發(fā)展期。
張玉林 先生
威立雅水處理技術(上海)有限公司業(yè)務拓展經(jīng)理
在《從“芯”開始:構建半導體制造水資源循環(huán)生態(tài)》報告中,威立雅水處理技術(上海)有限公司業(yè)務拓展經(jīng)理張玉林聚焦水務技術在半導體領域的應用與價值作了核心分享。
作為全球領軍的生態(tài)服務企業(yè),威立雅以生態(tài)轉(zhuǎn)型為立世之本,業(yè)務遍及56國,2024年營業(yè)額達446.92億歐元,其水務板塊為超1億人提供飲用水服務,在華布局30余城及多個研發(fā)、制造基地。
針對半導體行業(yè)水資源挑戰(zhàn),威立雅提供全鏈條技術與服務:核心技術涵蓋超濾、反滲透等純水/超純水制備,Actiflo®高效沉淀、EVALED™蒸發(fā)等廢水處理與回用技術,搭配Sievers®分析儀等水質(zhì)監(jiān)測設備;服務覆蓋中試、數(shù)字運維、移動水處理等全周期環(huán)節(jié)。
在可持續(xù)發(fā)展實踐中,常熟樹脂再生工廠為多行業(yè)提供穩(wěn)定水處理支持;Actiflo®技術憑借占地小、效率高優(yōu)勢,在蘇州、宜興等地微電子項目中實現(xiàn)TSS高效去除與緊湊布局;EVALED™蒸發(fā)技術在光伏及半導體領域達成零液體排放、90%以上水回用率,顯著降低處置成本。
威立雅通過技術創(chuàng)新與本地化服務,助力半導體企業(yè)破解用水難題,兼顧環(huán)境效益與運營效率,為行業(yè)水資源循環(huán)生態(tài)建設提供關鍵支撐。
張中 先生
副總經(jīng)理
江蘇芯德半導體科技有限公司
2.5D/3D封裝被YOLE定義為超高端封裝,市場前景廣闊。YOLE預計2029年先進封裝市場達695億美元,超高端封裝占276億美元,年復合增長率約18%。
江蘇芯德半導體科技有限公司副總經(jīng)理張中在《高性能芯片高端互聯(lián)技術以及芯德科技全方位解決方案》主題報告中,聚焦高性能芯片高端互聯(lián)技術及解決方案,分享了超高端封裝技術。
超高端封裝具備重要戰(zhàn)略意義:當前中國臺灣地區(qū)壟斷超高端封裝技術與產(chǎn)能,美國正積極布局,臺積電計劃在美投建先進封裝廠。發(fā)展該技術對中國產(chǎn)業(yè)布局至關重要。
2.5D封裝作為核心超高端技術,以中介層連接芯片,搭配微凸塊、TSV等技術,可實現(xiàn)多芯片高效互聯(lián),如NVIDIA A100便采用硅中介層連接GPU與HBM。3D封裝則通過堆疊實現(xiàn)高密度集成。但行業(yè)面臨挑戰(zhàn),集成電路封裝材料超50類,僅10余類中低端實現(xiàn)國產(chǎn)化。
芯德科技以CAPiC為核心技術平臺,提供2.5D/3D等超高端封裝解決方案,覆蓋從技術研發(fā)到應用落地的全鏈條,助力破解高速運算芯片互聯(lián)難題。
方亮 先生
董秘兼戰(zhàn)略發(fā)展總監(jiān)
芯率智能科技(蘇州)有限公司
在《次世代半導體技術的制程控制:芯率智能YMS方案賦能客戶應對復雜集成電路的良率挑戰(zhàn)》主題報告中,芯率智能科技(蘇州)有限公司董秘兼戰(zhàn)略發(fā)展總監(jiān)方亮表示,當前CMOS 2.0時代與先進封裝技術推動半導體復雜度飆升,良率觀念發(fā)生轉(zhuǎn)變,Chiplet綜合良率依賴多顆die及封裝工藝良率,且先進制程使量檢測需求激增,面臨研發(fā)周期縮短、工藝步驟增多、規(guī)格收緊等挑戰(zhàn)。
為此,芯率智能推出AI+YMS方案,覆蓋晶圓廠/中道工藝及先進封裝全流程。其YMS平臺整合全廠量檢測機臺數(shù)據(jù),運用機器學習技術,定位缺陷產(chǎn)生的工藝環(huán)節(jié)與根本原因(root cause);在先進封裝中,打通系統(tǒng)級封裝全流程良率信息溯源;更以虛擬量測技術,基于AI預測缺陷密度,合理分配量檢測資源,節(jié)約機臺產(chǎn)能。以AI重塑芯片良率管理。
芯率智能主營AI+半導體良率管理系統(tǒng)(YMS),核心團隊兼具IT與半導體技術背景,旗下子公司矩方信息、眾壹云等長期服務華虹、中芯國際等企業(yè),累計服務超15家大型晶圓廠/IDM。
楊尚勇 先生
資深總監(jiān)
上海芯東來半導體有限公司
在《光刻機在先進封裝領域的核心應用與關鍵挑戰(zhàn)》主題報告中,上海芯東來半導體有限公司資深總監(jiān)楊尚勇從封裝演進與光刻的重要性展開,重點分享了光刻如何塑造先進封裝、如何突破封裝光刻瓶頸等內(nèi)容。
主講人介紹,先進封裝(MCM、2.5D/3D)相較傳統(tǒng)封裝(TO/DIP、QFP/SOP、WB-BGA)主要有兩大變化:
一是封裝方式由Wire Bonding升級為Flip Chip,提高了一級封裝的連接靈活性,并衍生出Bumping、回流焊、底部填充等工序;
二是2.5D/3D等立體封裝對減薄/拋光提出更高要求,并新增RDL、Bumping、TSV等環(huán)節(jié),提升集成度和技術難度,推動封裝向高性能、高密度發(fā)展。
在此技術演變背景下,光刻在先進封裝中的重要性凸顯。同時,他還分享了當前封裝光刻面臨多重挑戰(zhàn):基板翹曲與大尺寸導致離焦,對準與套刻精度要求嚴苛,成本與良率平衡困難,混合鍵合等新技術提出更高標準。未來需向智能調(diào)平調(diào)焦、面板級光刻機、超高精度對準等方向突破。
黃清敏 博士
菲科半導體(張家港)有限公司總經(jīng)理
PHT 株式會社代表取締役社長
在當前中美半導體“強制脫鉤”的宏觀背景下,我國半導體產(chǎn)業(yè)鏈上下游如何在國際舞臺上實現(xiàn)生存與立足,已成為國產(chǎn)半導體行業(yè)亟需應對的首要挑戰(zhàn)。
菲科半導體(張家港)有限公司總經(jīng)理兼PHT株式會社代表取締役社長黃清敏博士,在題為《半導體材料企業(yè)國際化戰(zhàn)略:攜手日本設備制造商拓展海外市場》的主題報告中,分享了企業(yè)出海與國際化發(fā)展的實踐經(jīng)驗。
PHT株式會社成立于2015年,總部位于日本東京,主營業(yè)務涵蓋自動化搬運系統(tǒng)、晶圓清洗設備及微細精密加工,并在日本、美國和中國設立制造基地與服務中心,業(yè)務覆蓋多個半導體細分市場。報告指出,公司核心戰(zhàn)略是攜手日本設備制造商共同開拓海外市場,合作模式包括聯(lián)合研發(fā)、技術共享、培訓與售后服務以及股權合作等;同時依托日本總部的業(yè)務功能,推動中國合作伙伴的材料產(chǎn)品實現(xiàn)國際交叉銷售。
目前,公司已取得顯著成果:累計交付設備超過400臺,服務于多家行業(yè)頭部客戶,并榮獲“海創(chuàng)杯”獎項;主導項目亦成功入圍2025年第三屆全國博士后創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽總決賽。其國際化發(fā)展路徑聚焦多區(qū)域布局:在日本依托產(chǎn)業(yè)集群建設生產(chǎn)基地,在美國借助CHIPS法案落地產(chǎn)業(yè)園區(qū)以貼近客戶,同時開拓亞洲及歐美市場,實現(xiàn)區(qū)域價值升級與全球戰(zhàn)略延伸,從而提升企業(yè)競爭力并有效降低供應鏈風險。
Part 3
下午場
張軼銘 博士
北方華創(chuàng)微電子產(chǎn)品解決方案
北方華創(chuàng)微電子產(chǎn)品解決方案的張軼銘博士發(fā)表《北方華創(chuàng)助力異質(zhì)異構集成應用》主題報告,他從AI芯片帶動先進封裝需求、GPU大規(guī)模應用推動封裝技術迭代等行業(yè)趨勢展開,探討了高端芯片在先進封裝中的關鍵工藝挑戰(zhàn),并分享了北方華創(chuàng)的設備解決方案。
主講人表示,AI應用爆發(fā)推動人類進入“芯”紀元,但其對芯片“感、存、算、傳”能力需求激增,且伴隨巨大能源消耗,亟需更高效的集成電路技術突破。比如目前,高帶寬存儲HBM成為AI芯片的主流搭配,CoWoS已是重要的先進封裝技術。
裝備是工藝創(chuàng)新的核心支撐。工藝技術的進步不斷對設備提出新要求、創(chuàng)新無止境。他闡述了優(yōu)化設備與工藝流程對突破技術難點之間的關系,比如工藝優(yōu)化升級邊緣修正效應品質(zhì)、高端芯片劃片技術及工藝優(yōu)化對產(chǎn)能的影響等等。
而北方華創(chuàng)以前道技術能力為依托,在三維集成方面提供以刻蝕、薄膜、爐管、清洗等四大類裝備構建的2.5D/3D封裝解決方案。主講人詳細介紹了這些設備產(chǎn)品,并特別強調(diào)了與產(chǎn)業(yè)界同仁合作推動大芯片未來發(fā)展的重要性。
呂芃浩 博士
戰(zhàn)略分析總監(jiān)
華封科技
隨著集成度的提高,封裝過程中的成本問題愈發(fā)顯著。這主要是因為硅基中介層的成本高昂,而且堆疊性能越高,芯片數(shù)量越多,體積就越大,導致中介成本大幅上升。
華封科技戰(zhàn)略分析總監(jiān)呂芃浩博士發(fā)表《設備貼片:助力先進封裝發(fā)展的關鍵力量》的主題報告,他從先進封裝技術推動性能與成本效益提升等內(nèi)容展開,對貼片機在封裝技術中的關鍵作用以及貼片機效率與尺寸優(yōu)化的發(fā)展趨勢作了精彩分享。
他表示,設備通過模塊化設計、多方位視覺檢測、精準力控系統(tǒng)等技術升級,會滿足日益復雜的工藝需求。其中,面板化將是先進封裝貼片設備未來呈現(xiàn)的一個趨勢。未來,先進貼片設備還將向智能化(AI故障診斷)、超高精密化(微米級定位)、綠色化方向突破,成為支撐先進封裝產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心力量。
據(jù)介紹,華封科技通過前瞻性技術布局,已實現(xiàn)對先進封裝全工藝場景的覆蓋。華封科技始終保持技術研發(fā)領先于市場需求的節(jié)奏,這種前瞻性布局不僅助力企業(yè)實現(xiàn)從追趕到引領的跨越,更將為全球半導體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展注入持續(xù)動力。
李衛(wèi)東 先生
CMO
銳杰微科技
結(jié)合行業(yè)需求、技術發(fā)展與公司產(chǎn)品解決方案等內(nèi)容,銳杰微科技CMO李衛(wèi)東發(fā)表《2.5D封裝關鍵技術發(fā)展路徑探討》主題報告。
需求層面,AI算力爆發(fā)驅(qū)動市場增長,全球AI芯片、HBM、Chiplet市場規(guī)模均呈高增速,而高性能芯片面臨存儲墻、面積墻、功耗墻等挑戰(zhàn),先進封裝成為突破路徑,產(chǎn)業(yè)從器件微縮轉(zhuǎn)向芯粒集成的變革路徑。
主講人介紹,2.5D封裝關鍵技術涵蓋多維度,包括:計算架構向NUMA演進以降低內(nèi)存延遲;存儲端HBM技術持續(xù)升級,HBM4預計實現(xiàn)2458GB/s帶寬;互聯(lián)技術在各層級提升帶寬與密度,芯?;ヂ?lián)IP規(guī)范多元發(fā)展;中介層技術呈現(xiàn)硅基、玻璃基等多樣化形態(tài);輔以eDTC電容、高層數(shù)基板及高效熱管理技術應對性能與可靠性需求等。
銳杰微在封裝仿真設計和成品制造領域提供一站式服務,其最新推出了包括設計全流程和工藝全流程在內(nèi)的先進封裝整體解決方案?,F(xiàn)場,主講人還分享了搭載HBM3的全國產(chǎn)2.5D AI芯片、超大尺寸MCM超算芯片等覆蓋AI計算、網(wǎng)絡交換等場景的公司案例。
賈李琛 先生
產(chǎn)品總監(jiān)
南京宏泰半導體科技股份有限公司
隨著高性能計算和人工智能的發(fā)展,先進封裝測試市場規(guī)模不斷擴大,但也面臨諸多挑戰(zhàn),國產(chǎn)測試設備廠商迎來發(fā)展機遇。
南京宏泰半導體科技股份有限公司產(chǎn)品總監(jiān)賈李琛在《國產(chǎn)測試設備在先進封裝測試領域的機遇與挑戰(zhàn)》主題報告中主要作了以下分享:
市場格局與趨勢:高性能計算成為半導體主要需求驅(qū)動力,高端芯片市場增長迅速,人工智能芯片在先進封裝市場占比不斷提高。國際廠商在半導體測試機市場占據(jù)壟斷地位,但測試成本在高端芯片成本中的占比越來越高,為國產(chǎn)設備提供了替代空間。
先進封裝測試挑戰(zhàn):先進封裝測試面臨高PinCount與高功率密度、高速接口測試、跨SOC與Memory測試等多方面挑戰(zhàn)。例如,芯片管腳數(shù)增多導致并行測試受限,高速接口測試成本高昂且國產(chǎn)設備速率較低,傳統(tǒng)測試機無法滿足跨芯片測試需求等。
宏泰科技應對策略:宏泰科技成立于2007年,提供半導體測試系統(tǒng)、自動測試分選系統(tǒng)等產(chǎn)品和服務。其ATE產(chǎn)品覆蓋多種芯片類型,具備多時鐘域、跨Memory與SOC測試等能力,分選機產(chǎn)品線也不斷完善。
黃曉波 博士
技術市場總監(jiān)
芯和半導體科技(上海)股份有限公司
在《多物理場仿真EDA賦能Chiplet先進封裝設計》主題報告中,芯和半導體科技(上海)股份有限公司技術市場總監(jiān)黃曉波博士從工具與生態(tài)建設、AI驅(qū)動行業(yè)趨勢與技術挑戰(zhàn)、EDA的創(chuàng)新實踐以及產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同愿景等四個方面進行了具體分享。
在AI硬件對算力、存力、運力、電力的“四力”需求激增引起的連鎖反應下,Chiplet先進封裝成為突破瓶頸的關鍵方向,英偉達、AMD等企業(yè)均依托Chiplet打造AI基礎設施方案,其集成正走向系統(tǒng)化與規(guī)?;琗PU/HBM Chiplet 交替升級成為AI芯片迭代主流。
而通過EDA技術橋梁作用,可以解決AI時代下算力、能效、互聯(lián)三大矛盾,比如通過AI賦能自動化流程、設計左移策略、多物理場耦合應對等創(chuàng)新手段進行應對。芯和半導體提供一站式多物理場仿真EDA解決方案,已賦能多款HPC芯片及Chiplet集成設計,助力AI硬件高效迭代。
最后,主講人倡導以系統(tǒng)級協(xié)同設計和跨領域生態(tài)合作應對挑戰(zhàn),最終服務于高端電子設備(如自動駕駛、智能手機、6G基站)的性能躍升。
張軍明 先生
業(yè)務發(fā)展總監(jiān)
飛潮(上海)新材料股份有限公司
飛潮(上海)新材料股份有限公司業(yè)務發(fā)展總監(jiān)張軍明發(fā)表《半導體過濾技術及產(chǎn)品分享》主題報告,他從Litho、WET、CMP、DEP等半導體過濾技術的應用展開,對過濾基礎原理、半導體工藝中使用的各類產(chǎn)品,以及不同公司使用的技術節(jié)點等方面進行講解。
主講人重點闡述了直接攔截、吸附攔截和搭橋攔截三種過濾原理,并按照材質(zhì)特性分類,對 PES、PP、PTFE等濾膜進行詳細介紹。此外,他還分享了濾芯結(jié)構和筒式濾芯,以及其在氣體過濾和液體化學藥液處理中的應用。
比如濾芯主要應用于IC制造及上游材料、設備端,覆蓋濕化學藥液、CMP研磨液、光刻顯影液及電子氣體過濾等關鍵環(huán)節(jié)。飛潮成立20余年,擁有上海、無錫兩大基地,可提供定制化過濾解決方案與技術支持。針對不同工藝需求,飛潮推出了適配高溫強腐蝕性藥液、用于光刻膠過濾以及適配CMP研磨液等專用產(chǎn)品。
在會議茶歇中,參會嘉賓們都參觀、交流了哪些產(chǎn)品呢?
至此,榮格工業(yè)傳媒主辦的2025半導體制造工藝與材料論壇圓滿結(jié)束!
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最后,再次感謝大力支持本屆論壇的贊助商們以及支持單位、媒體單位,讓我們下一屆大會再相聚!
編輯 / Alec、Rachael